Duke SURF-CAL 尺度標準微粒

NIST溯源尺度標準，用于需要高度視覺反差的尺度標和參考應(yīng)用領(lǐng)域。SUR-CAL 為各種硅晶片的表面性狀的檢測和標提供了便利的工具。產(chǎn)品的粒徑復(fù)合儀器廠家所需的各種規(guī)格。SURF-CAL系列產(chǎn)品完符合SEMI行業(yè)協(xié)會的建立的SSIS標指導(dǎo)準則，微粒粒徑縱貫0.047到3.0微米的范圍，覆蓋了半導(dǎo)體技術(shù)藍圖（ITRS）所義的關(guān)鍵質(zhì)控點。通過將SUR-CAL聚苯乙烯乳膠微粒沉積在特的硅晶片（PSL）表面，用戶以對掃描儀進行周期性標，并與其它的掃描儀進行對比。用戶還以對生產(chǎn)環(huán)節(jié)中關(guān)鍵階段SSIS的性能做出評估。產(chǎn)品包裝為50ml，微粒分散于超凈過濾去離子水中，微粒濃度 3 x 108 / ml。PD1100（粒徑1.112 μm）和小于這一粒徑的產(chǎn)品還提供1010 /ml 的產(chǎn)品包裝規(guī)格以滿足需要使用差別移動粒子分析儀（DMA）和其它尺寸排除技術(shù)粒子分析儀器的客戶需求。

尺度測量方法學(xué)：

為了確保與NIST的直接溯源性，產(chǎn)品的粒徑是直接從NIST提供的標準參考微粒通過電子顯微鏡或光學(xué)顯微鏡的測量中直接轉(zhuǎn)化而成的。尺度的不確性是依照NIST技術(shù)筆記1297方法（1994年版“NIST測量結(jié)果不確性評估指導(dǎo)方案”）計算得到的。產(chǎn)品中所描述的不確性為擴大性不確因素，覆蓋因子數(shù)為2 （K=2）。

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